Medidor de Iones Activos

ElEl medidor de iones activos (AIGX) es un medidor de iones activos compacto con filamentos duales de iridio recubiertos de itria, un amplio rango de medición de 6,6x10-² a 6,6x10-¹⁰ mbar y una salida lineal de 1 voltio/década.

El AIGX incorpora todos los beneficios del concepto de medición estándar de la industria, con componentes electrónicos integrales y tubo reemplazable. El medidor tiene una instalación de desgasificación e incluye características para proteger y extender la vida de los filamentos.

El AIGX se beneficia de emisiones extremadamente bajas de partículas cargadas, convirtiéndose en una excelente opción para procesos donde no se desea tener ruido de fondo.

Datos técnicos

Rango de presión

Precisión

Max. Sobrepresión

Rango de temperatura en funcionamiento

Rango de temperatura en reposo

Brida

Conectores de interfaz externa

Variante

mbar

mbar

bar

°C

°C

Edwards AIGX-S

AIGX-D

6,6 x 10-² a 6,6 x a 10-¹⁰

Típicamente +/- 15%

10 bares absolutos (145 psi)

de 0 a + 40

de -30 a + 70

NW25 / NW16 / CF40

Enchufe tipo "D" de 9 vías (clavijas)

Control manual

AIGX-S

6,6 x 10-² a 6,6 x a 10-¹⁰

Típicamente +/- 15%

10 bares absolutos (145 psi)

de 0 a + 40

de -30 a + 70

NW25 / NW16 / CF40

Toma de 8 vías FCC68/R145

Conmuta automáticamente a 1,33 x 10-⁵ mbar

Documentación

Revista de espectroscopia

Características y Ventajas

Capacidad de medición completa de 8 décadas, hasta 6.6x10⁻¹⁰ mbar

Reducción de hasta treinta veces la contaminación por partículas cargadas en el proceso en comparación con los principales competidores

Protección automática del filamento contra la conexión a la atmósfera y el funcionamiento o la desgasificación a alta presión

Hay dos versiones disponibles

cada uno con tres variantes de acoplamiento en vacío: las versiones "D" tienen un conector "D" de 9 pines y una interfaz estándar; las versiones "S" tienen una funcionalidad mejorada y son totalmente
compatible con la gama de controladores Edwards

Salida de medición de presión continua durante la desgasificación

El diseño innovador elimina los efectos de los límites de los rayos X

Dimensiones

Documentación