Medidores Pasivos
Edwards se enorgullece en presentar un nuevo rango de sensores y controladores pasivos, seleccionados específicamente para complementar la gama actual de medidores y controladores activos de Edwards. Estos medidores pasivos ofrecen una solución para medir la presión en una amplia gama de aplicaciones, desde sistemas UHV hasta industrias de proceso, o donde no sea posible utilizar medidores activos por ej. Ciclotrones.
La gama de medidores pasivos de Edwards comprende Pirani, Penning y tanto Bayard-Alpert como ExtractorCabezales de medidores de iones que juntos pueden medir desde la atmósfera hasta 10-¹²mbar. Se utilizan enjunto con un controlador de manómetros pasivos (PGC) para mostrar la presión y ofrecer una interfaz intuitiva para elusuario junto con la capacidad de control remoto. Edwards ofrecerá 2 variantes de controladores; el PGC201 que
cubre el rango de presión de 10-⁹ a 1000 mbar, en conjunción con los manómetros Pirani y Penning, y elPGC202 que cubre el rango más amplio de y 10-¹² a 1000 mbar cuando se utiliza con un medidor Pirani e Ion.
Medidor Pirani
(Tecnología de la Conductividad Térmica)
Rango de medida
Filamento
Sobrecarga permisible (abs.), máx.
Conexión de vacío
Los materiales en contacto con el medio
mbar
bar
PRG20K - NW16
5 x10-⁴ a 1000
Tungsteno
3
NW16
Aluminio, Vacon, Vidrio, Tungsteno, CrNi 8020 Acero niquelado, adhesivo epoxi
PRG20K - DN16CF
5 x10-⁴ a 1000
Tungsteno
10
DN16CF
Acero inoxidable, Vacon, tungsteno, CrNi 8020 cerámica, Al2 O3, NiFe 42
PRG20KCR - NW16
5 x10-⁴ a 1000
Platino
10
NW16
Acero inoxidable 1,4301 (SS 304), Al2 O3, CrNi 8020, platino
Medidores Penning
(Tecnología de Ionización de Cátodo Frío)
Rango de medida
Suministro de alto voltaje (potencial anódico)
Voltaje de disparo
Voltaje de operación
Los materiales en contacto con el medio
mbar
kV
kV
Conexión de vacío
CPG35K NW25
1 x 10-⁹ a 10-²
3.3
1.6
Acero inoxidable, Nichrome, Cerámica, Titanio
NW25
CPG35K NW40
1 x 10-⁹ a 10-²
3.3
1.6
Acero inoxidable, Nichrome, Cerámica, Titanio
NW40
CPG35K DN40CF
1 x 10-⁹ a 10-²
3.3
1.6
Acero inoxidable, Nichrome, Cerámica, Titanio
DN40CF
CPG35KB DN40CF
1 x 10-⁹ a 10-²
3.3
1.6
Acero inoxidable, Nichrome, Cerámica, Titanio
DN40CF
Medidores Iónicos
(Tecnología de Ionización de Cátodo Caliente)
Datos técnicos
Rango de medida
Límite de rayos X
Material
Cátodo
Ánodo
Coleccionista
Reflector
Sensibilidad al nitrógeno
Conexión de vacío
mbar
mbar
mbar-1
IG40 BA
2 x 10-¹¹ a 10-²
≤10⁻¹¹
Iridio con recubrimiento de óxido de itrio
Pt/Ir 90/10 y cable envuelto Mo/pt
Tungsteno
17.0
DN40CF
IG40 EX
2 x 10-¹² a 10-⁴
≤10⁻¹²
Iridio con recubrimiento de óxido de itrio
Mo y CoNiCr
Tungsteno
NiFe
6.25
DN40CF
El controlador PGC201 de Edwards cubre el rango de presión entre 10-⁹ y 1000 mbar combinando dos principios de medición de los medidores PRG y CPG. El PGC202 combina los medidores de PRG y los medidores IG40 BA o IG40 EX para medir las presiones de vacío en el rango entre 10-¹² y 1000 mbar. Ambos controladores proporcionan funciones de supervisión y control para los manómetros conectados.
Datos técnicos
Rango de medida
Canal 1, 2 (PRG)
Canal 3
(CPG)
(IG40 BA)
(IG40 EX)
Incertidumbre en la medición
PRG
CPG
IG40 BA/EX
Umbrales de conmutación ajustables
PRG
CPG
IG40 BA
IG40 EX
Consumo de energía
mbar
mbar
mbar
mbar
mbar
mbar
mbar
mbar
W
Controlador Pirani/Penning PGC201
5 x 10-4 a 1000
10-9 a 10-2
-
-
≤20% del valor medido en el rango de 10³ a 10² mbar (± 20%) en el rango de 10² a 10² mbar (± 15%)
± 30% del valor medido en el rango 10-⁸ a 10-⁴ mbar
5x10-³ a 500
1x10-⁸ a 9,9x10-³
<10
Controlador Pirani/Iónico PGC202
5 x 10-4 a 1000
-
2 x 10-11 a 10-2
2 x 10-12 a 10-4
≤20% del valor medido en el rango de 10³ a 10² mbar (± 20%) en el rango de 10² a 10² mbar (± 15%)
+/- 2% del valor medido
5x10-³ a 500
1x10-⁸ a 5x10-³
1x10-¹¹ a x10-¹¹
<60
Funcionamiento del cátodo frío Penning (PGC201)
Sensores UHV Sistema de medición Bayard-Alpert IG40 BA o Sistema de medición de extractores IG40 EX (PGC202)
