BOMBAS DE VACÍO >ALTO VACÍO Y UHV >UHV-XHV > SUBLIMACIÓN DE TITANIO
Bombas de Sublimación de Titanio (TSPs) se utilizan en combinación con bombas iónicas o independientemente para eliminar gases reactivos desde el entorno de vacío.
Los TSP pueden operar desde 10-5a 10-12 mbar y tienen velocidades de bombeo superiores a 10.000 m3/h de hidrógeno.
pueden utilizarse independientemente o en combinación con bombas iónicas para eliminar los gases reactivos del entorno de vacío
Todos los componentes TSP son horneables hasta 400ºC
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Combinadas con una bomba iónica, las TSP permiten alcanzar bajas presiones finales en menos tiempo. Todos los componentes de las TSP son "horneables" hasta 400˚C..
Los TSP funcionan calentando un filamento de titanio y sublimando (convirtiendo de fase sólida a fase gaseosa) las moléculas de titanio en una superficie. Las moléculas de titanio sublimadas están entonces disponibles para reaccionar químicamente con gases reactivos, como el oxígeno y el nitrógeno, y disociar y difundir el hidrógeno. Los TSP pueden funcionar desde 10-5 a 10-12 mbar y tienen velocidades de bombeo superiores a 10.000 m3h-1 de hidrógeno.
Características de producto
CRISOL LÍQUIDO
La criocubierta líquida consiste en un cilindro de acero inoxidable de doble pared, tipo 304L, con dos conductos de alimentación de nitrógeno líquido (0,375 pulg. de diámetro) con accesorios tipo bengala. Proporciona 1578 cm2 (245 in2 ) de superficie enfriada por nitrógeno líquido que proporciona velocidades de bombeo de hasta 12.000m3/h para el hidrógeno (véase la tabla). La cubierta está montada en una caja de 8 pulg. CFF (DN160).
CARTUCHO DEL FILAMENTO TSP
El cartucho del filamento se monta en un 2-3/4" CFF (DN40). El pasamuros sujeta tres filamentos de titanio-molibdeno y una trayectoria de retorno para buen aislamiento de tierra. Cada filamento contiene 1,5 gramos de titanio utilizable y tiene un promedio de 20 horas de operación.
BARRERA SPUTTER AMBIENTE
El escudo de pulverización ambiental maximiza económicamente el área de la superficie cuando el enfriamiento no es práctico o posible. Proporciona 827 cm2 (128 in2 ) de superficie de temperatura ambiente que proporciona velocidades de bombeo de hasta 2200 m3/h para el hidrógeno (ver tabla). El escudo está montado en un CFF de 8 pulg. CFF (DN160) o en un CFF de 6 pulg. CFF (DN100).
