Alto Vacío y UHV > Bombas turbomoleculares

Una bomba turbomolecular (TMP) es una turbina de múltiples etapas y flujo-axial, en la que unos alaves giran a alta velocidad y proporcionan compresión aumentando la probabilidad de que las moléculas se desplacen en la dirección de bombeo. La bomba turbomolecular se optimiza para condiciones de flujo molecular y requiere una bomba primaria de caudal adecuado, como apoyo para expulsar a presión atmosférica.

Una bomba molecular compuesta (CMP) se basa en el concepto de combinar etapas turbomoleculares de álaves con estapas de arrastre molecular dentro del mismo rotor. Este diseño permite:

• Presiones críticas de apoyo más elevadas (típicamente hasta 10 mbar)

• Opciones para utilizar bombas primarias más pequeñas o bombas de membrana

47 - 1250 l/s

<5x10-10

a 4500 l/s

<1x10-10

47 - 400 l/s

<5x10-10

Velocidad máxima de bombeo N2

Velocidad máxima de bombeo Ar

Velocidad máxima de bombeo Él

Velocidad máxima de bombeo H2

Máxima presión de retroceso N2

l/s

l/s

l/s

l/s

mbar

EXT75DX

42

39

49

48

8

nEXT85

47

44

61

49

18

nEXT240

240

230

230

165

9.5

nEXT300

300

280

340

280

9.5

nEXT400

400

380

390

325

9.5