Alto Vacío y UHV > Bombas turbomoleculares
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Una bomba turbomolecular (TMP) es una turbina de múltiples etapas y flujo-axial, en la que unos alaves giran a alta velocidad y proporcionan compresión aumentando la probabilidad de que las moléculas se desplacen en la dirección de bombeo. La bomba turbomolecular se optimiza para condiciones de flujo molecular y requiere una bomba primaria de caudal adecuado, como apoyo para expulsar a presión atmosférica.
Una bomba molecular compuesta (CMP) se basa en el concepto de combinar etapas turbomoleculares de álaves con estapas de arrastre molecular dentro del mismo rotor. Este diseño permite:
• Presiones críticas de apoyo más elevadas (típicamente hasta 10 mbar)
• Opciones para utilizar bombas primarias más pequeñas o bombas de membrana
Velocidad máxima de bombeo N2
Velocidad máxima de bombeo Ar
Velocidad máxima de bombeo Él
Velocidad máxima de bombeo H2
Máxima presión de retroceso N2
l/s
l/s
l/s
l/s
mbar
EXT75DX
42
39
49
48
8
nEXT85
47
44
61
49
18
nEXT240
240
230
230
165
9.5
nEXT300
300
280
340
280
9.5
nEXT400
400
380
390
325
9.5