Conocidas por las siglas OSRV, las bombas de paletas rotativas selladas por aceite se desarrollaron por primera vez a principios del siglo XX. Hoy en día, las dos bombas de sellado de aceite comúnmente utilizadas son las bombas de pistón rotativo, a menudo usadas para presiones de entrada bajas y cargas de gas ligero, y las de paletas rotativas, normalmente de tamaño grande y manejadas en aplicaciones industriales de alta presión de gas y de alta presión de entrada.
Las bombas secas no tienen aceite en el volumen de bombeo barrido y usan una serie de plataformas con pequeñas holguras sin contacto para desplazar gases/vapores y crear compresión máxima de 10-2 mbar o inferior; Las frecuencias más altas dan inferiores máximas para reducir de fugas de gases.
Entre las bombas secas podemos diferenciar:
La bomba de diafragma tiene ultimados del 0,1 mbar. El cigüeñal gira y la biela tira del diafragma hacia abajo, creando un vacío en la cámara.
Son montadas excéntricamente para aislar el gas y transportarlo a un escape de presión atmosférica.
Su creación estuvo impulsada el daño ocasionado por las sustancias químicas utilizadas en el proceso de semiconductores, pues atacaban al aceite que se utilizaba para lubricar y sellar las bombas. El principio de funcionamiento de estas bombas es igual al que tienen las bombas de pistón llenas de aceite. En la versión “seca” el contacto se puede realizar con revestimientos “sacrificatorios”. A medida que gira el cigüeñal, mueve el pistón verticalmente a través del cilindro, que atrapa, comprime y luego descarga el gas de la bomba.
Son bombas secundarias sin contacto. Los rotores atrapan un volumen de aire contra el cuerpo del estátor y lo barren, agotando el gas en un punto 180º desde la entrada. Los espacios cortos entre los rotores y el estátor son críticos para atrapar y moverse a través del cuerpo de la bomba.
La configuración interna de una bomba turbomolecular (secundaria) de compresión puede alcanzar generalmente UHV y escape aproximadamente a 0,1 mbar. Diferentes configuraciones y etapas de arrastre compuesto pueden incrementar significativamente los caudales y las presiones de escape (> 20 mbar).
Las bombas turbomoleculares de rodamiento "convencionales" tienen el rotor soportado por una combinación de cojinetes engrasados/aceite y de imanes permanentes.
Surgen como solución a los ataques de las sustancias químicas que sufría las bombas turbomoleculares, ya que causaban fallas de bombeo en tan solo unas semanas. El problema se resolvió introduciendo cojinetes magnéticos para alzar el eje de impulsión de la bomba y eliminar la necesidad de lubricar con aceite.
Con un mecanismo de bombeo primario, la bomba regenerativa utiliza un solo rotor de alta velocidad para impartir impulso al gas, comprimiéndolo a la presión atmosférica a través de varias etapa
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